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    晶體硅研磨水回用處理設(shè)備


    在晶體硅研磨、切片過(guò)程中需要用水進(jìn)行清洗或冷卻、潤(rùn)滑,這樣會(huì)產(chǎn)生大量的廢水。

    這種廢水中除了硅粉之外,其他的雜質(zhì)的水質(zhì)指標(biāo)均與所使用的原水水質(zhì)相接近。水中含有了大量的硅粉,以及少量的碳化硅顆粒和聚乙二醇。硅粉基本上是直徑為 0.5~1μm的微細(xì)顆粒。這種廢水直接排放,不但水中的懸浮物超標(biāo)準(zhǔn),而且浪費(fèi)大量水資源。因此,這種廢水只要能夠除去其中的硅粉顆粒,完全具有回收使用的價(jià)值,水可以回到生產(chǎn)線循環(huán)使用,硅粉也可以回收再利用。晶體硅研磨水回用處理設(shè)備

     

    目前,常規(guī)的處理方法無(wú)法實(shí)現(xiàn)回收價(jià)值,并且存在以下問(wèn)題:

    l  直接排放:懸浮物不能達(dá)排放標(biāo)準(zhǔn),且無(wú)法實(shí)現(xiàn)水和硅粉的回收利用,造成雙重浪費(fèi);

    l  化學(xué)沉淀處理:研磨廢水中因顆粒極小,即便添加混凝劑和助凝劑仍無(wú)法獲得很好的沉淀效果,處理效果差,效率極低;

    l  濾芯過(guò)濾或袋濾的簡(jiǎn)單過(guò)濾處理:濾芯或?yàn)V袋因其孔徑局限導(dǎo)致截留效果差,且通量小、易堵塞;

    l  中空纖維膜回收處理:效果好但易污堵,清洗后通量難恢復(fù),膜絲易斷。

     

    硅片生產(chǎn)中產(chǎn)生的研磨清洗廢水收集到廢水均質(zhì)槽內(nèi),穩(wěn)定水質(zhì)和水量。然后用泵輸送到廢水濃縮槽,再由循環(huán)泵輸送到管式微濾膜進(jìn)行處理。廢水在濃縮槽和管式微濾膜之間進(jìn)行大流量的循環(huán),這一過(guò)程中水透過(guò)膜連續(xù)送往產(chǎn)水槽進(jìn)行回收利用。微濾膜截留的懸浮物(硅粉)被帶回廢水濃縮槽內(nèi)不斷富集,積聚到一定濃度后送到壓濾機(jī)進(jìn)行脫水處理,脫水后硅粉形成泥餅外運(yùn)回收,脫離水則回到廢水濃縮槽進(jìn)一步處理。

    針對(duì)以上情況,采用管式微濾膜(TMF)技術(shù)對(duì)晶體硅切片研磨清洗廢水進(jìn)行回用性處理:整個(gè)處理過(guò)程中不添加任何化學(xué)藥劑。

     

    三、工藝的技術(shù)優(yōu)勢(shì):

    1.   采用管式微孔過(guò)濾膜替代傳統(tǒng)的重力沉淀,實(shí)現(xiàn)硅粉顆粒和水的高效分離。

    2.   分離后的水回用至生產(chǎn)前端,硅粉也可以回收利用。

    3.   回收率接近100%(僅極少量濃縮液需定期排放)。

    4.   無(wú)需投加混凝劑和絮凝劑,不產(chǎn)生廢水排放。

    5.   系統(tǒng)占地面積小,自動(dòng)化水平高,運(yùn)行操作簡(jiǎn)便。

    6.   采用管式大流量錯(cuò)流過(guò)濾,水流切向高速流過(guò)膜表面,在過(guò)濾的同時(shí)還有沖刷清潔膜表面的作用,污染物不易累積,膜面不易污染。

    7.   采用燒結(jié)法成膜技術(shù),膜管堅(jiān)固耐用,杜絕了斷絲泄漏現(xiàn)象的發(fā)生。

    8.   0.05um的絕對(duì)過(guò)濾孔徑,產(chǎn)水濁度<1NTU,可以有效的保護(hù)反滲透。

    9.   管式微濾膜專(zhuān)門(mén)針對(duì)廢水處理設(shè)計(jì),具有出色的耐化學(xué)性和耐磨擦性

     


    2012-02-27

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